热阻蒸发薄膜沉积系统

DE400DL 热阻蒸发薄膜沉积系统，高真空或超高真空蒸镀环境，优质薄膜质量及膜厚均匀性和重复性。

热阻蒸发薄膜沉积系统

DE400T 热阻蒸发薄膜沉积系统，可沉积金属、半导体、介质材料、有机材料，可用于沉积单层、多层薄膜。