DE500CL 双电子枪共蒸镀膜系统，优质薄膜质量及膜厚均匀性和重复性，高真空或超高真空镀膜环境。

DE600CL 多电子枪蒸发镀膜系统，优质薄膜质量及膜厚均匀性和重复性，高精度镀膜速率和膜厚控制。

DE3000ER 多腔体电子束蒸镀系统，PLC+PC全自动控制样品传输和全部工艺流程。